クリーンルーム

ISO CLASS1
SUPER CLEANROOM

クリーンルームの規格(ISO 14644-1)

クリーンルームの空気清浄度は、アメリカで 1963 年に米国連邦規格(FED-STD-209)として制定されたのが始まりです。 (米国連邦規格は2001年にISOに改められ廃止)
米国連邦規格では、0.5 μm の粒子を基準とした 1 立法フィート(1 ft3)中の粒子数を規定しており、「クラス 100」とは、1 ft 3 中に 0.5 μm の粒子が 100 個以内であるという清浄度クラスになります。今日では、国際規格 ISO 14644-1 に改訂されており、1 m3 中の 0.1 μm 以上の粒子数を規定しております。
※ 1 ft3 = 0.02832 m3